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多結晶シリコン薄膜電池の作製技術

太陽電池の製造は主に半導体材料に基づいています。その動作原理は、光電材料を使用して光エネルギーを吸収し、光電変換反応を生成することです。使用されるさまざまな材料に応じて、太陽電池はシリコン太陽電池、ヒ素ガリウムIII-V化合物などの無機塩、硫化カドミウム、銅インジウムセレン、その他の多成分化合物を材料とする太陽電池、機能性材料から製造される大型太陽電池に分類できます。高分子材料、ナノ結晶太陽電池など

通常、結晶シリコン ソーラーパネル 厚さ350~450μmの高品質シリコンウェーハで作られています。このシリコンウェーハは、材料を節約するために引き上げられるか、流し込まれます。現在、多結晶シリコン薄膜セルは、低圧化学気相成長 (LPCVD) プロセスやプラズマ化学気相成長 (PECVD) プロセスなどの化学気相成長法によって製造されています。さらに、液相エピタキシー (LPPE) およびスパッタ堆積法も、ポリシリコン薄膜セルの製造に使用できます。

再結晶化プロセスに加えて、多結晶シリコン薄膜電池は単結晶シリコン太陽電池を製造するための技術をほぼすべて採用しているため、このようにして製造された太陽電池の変換効率は明らかに向上します。鋳造シリコンインゴットから切断されました。

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